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작성자: 플라즈마트 작성일: 2007-03-23 조회수: 3705 File 1: MINIPLASMA-station.pdf Size: 830.33kB Down: 6175 File 2: MINIPLASMA-station 공정별 적용 사례.pdf Size: 261.34kB Down: 967 |
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㈜플라즈마트는 반도체, 디스플레이, 바이오, 등을 비롯하여 나노(NT) 분야에 이르기까지 다양한 분야에서 10 년 이상 축적된 플라즈마 기술을 보유한 플라즈마 전문기업입니다. MINIPLASMA-station (R&D용 Plasma System) 1. 제품 개요: 10여년 이상 축적된 플라즈마 발생 및 제어 기술, 플라즈마 진단 기 술을 바탕으로 CCP(PE, RIE type), ICP, Remote Plasma, 등을 하나의 장비에서 편리하게 모듈만 교체함으로써 다양한 플라즈마 환경을 빠르고 쉽게 구현하여 증착, 식각, 표면처리, 등의 공정을 제공하는 다목적 플라즈마 시스템 2. 납품 실적(최근 기준): - 납품처: 표준과학연구원, 구미전자기술연구소, 성균관대학교, 세종대학교, 한국항공대학교, 등 - 납품 예정: 반도체장비기술교육센터, 한양대학교, 명지대학교, KAIST, 등 - 시스템 type: ICP-CVD, PECVD, ICP&RIE, Surface Treament System - 적용 분야: Plasma Surface Treatment, Nano, Bio, Semiconductor, FPD 3. 응용분야: Plasma Surface Treatment Nano Application Bio Application Plasma Polymerization Semiconductor Process FPD Process 4. 기술 현황 및 경험 - 국내 업체 중에서 Plasma Sources (플라즈마 발생 장치) 최다 특허 출원 및 등록 (약 30건) - 양산용 플라즈마 관련 시스템 제조 업체 Consulting - 국내 최초로 Langmuir Probe System (DLP2000, SLP2000) Plasma Monitoring System (NIEA; Non-invasive Ion Energy Analyzer) RF Matcher (Digital type: Pulse Operation 가능) V-I Monitor , Arc Detector,등 개발 및 공급 5. Sample Test - 증착 및 식각, 표면 처리, 등의 Test - 현재 진행 중인 Test 분야: 반도체, 바이오, 나노, Surface Treatment, 등 - 직접 장비를 구동하여 Test 가능 더 많은 정보를 원하시면 언제든지 연락만 주세요! 끝까지 읽어 주셨어 감사합니다. 강 신석 PLASMART Inc. Manager / Sales & CS Team Tel: +82-42-934-2545/7 (Extension Number 101) Fax: +82-42-934-2524 Http://www.plasmart.com E-mail: [email protected] |
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